翹曲度，用于表述平面在空間中的彎曲程度，在數(shù)值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠(yuǎn)的兩點(diǎn)間的距離。絕對(duì)平面的翹曲度為0。翹曲變形是評(píng)定產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。對(duì)于相同翹曲影響模式的同一產(chǎn)品時(shí)，這些指標(biāo)可以描述不同設(shè)計(jì)的翹曲變形的大小程度。但對(duì)于不同材料、模具結(jié)構(gòu)等造成翹曲變形的影響模式改變的因素，不同設(shè)計(jì)下各部分的翹曲變形嚴(yán)重程度也隨之改變。
美國(guó)FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測(cè)量?jī)x具有哪些特殊功能？
1、多重導(dǎo)向銷(xiāo)設(shè)計(jì)，手動(dòng)裝載樣品，有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。
2、優(yōu)異的分辨率——測(cè)量0.2um弓形高度變化超過(guò) 20M 的平鏡(大約 0.8%)
3、全3D測(cè)繪的手動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。
4、測(cè)量局部應(yīng)力---測(cè)量42點(diǎn)/mm 并大于8400點(diǎn)/200mm晶圓。這種測(cè)量密度獲得更好的信號(hào)噪聲比。
5、良好封閉的設(shè)計(jì)，溫度更穩(wěn)定。
6、特殊的設(shè)計(jì)使震動(dòng)偏移降到較低。
7、圖形式使用界面更容易使用。
8、當(dāng)改變彈性模數(shù)，晶圓或薄膜厚度設(shè)備會(huì)自動(dòng)重新計(jì)算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。
9、可以計(jì)算雙軸彈性模量和線(xiàn)膨脹系數(shù)。
10、可以計(jì)算應(yīng)力的均勻性。
11、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel，提供給SPC分析。
