光學(xué)輪廓儀是一款用于對各種精密器件表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。
 

　　光學(xué)輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測量方法，它具有測量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，其*的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測，系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。
 

　　具有以下優(yōu)點(diǎn)：
 

　　1、可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù)，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜；
 

　　2、無需更換耗材：只需要一個(gè)LED光源，無需其他配件更換；
 

　　3、可視化3D功能：具有強(qiáng)大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量外，還可以任意角度移動(dòng)樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像；
 

　　4、適用于各類樣品：適用于各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質(zhì)、硬質(zhì)涂層、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測量；
 

　　5、價(jià)格優(yōu)勢：市場上具性價(jià)比的白光干涉輪廓儀，具有價(jià)格優(yōu)勢的高精度輪廓儀；
 

　　6、快速測量大面積區(qū)域：測量范圍為毫米級別，配置XY樣品臺達(dá)100mm*100mm，可實(shí)現(xiàn)大面積樣品的輕松測量；
 

　　7、簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進(jìn)行測量；
 

　　光學(xué)輪廓儀只需操作者裝好被測器件，在軟件測量界面上設(shè)置好視場參數(shù)，調(diào)整鏡頭到接近器件表面，選擇自動(dòng)聚焦，儀器會對器件表面進(jìn)行自動(dòng)對焦并找到干涉條紋，調(diào)節(jié)好干涉條紋寬度后即可開始進(jìn)行掃描測量；掃描結(jié)束后，軟件分析界面自動(dòng)生成器件3D圖像，操作者可通過軟件對生成的3D形貌進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取表征器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。