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FR-Ultra是一種緊湊型設(shè)備，專門用于快速、準(zhǔn)確和無(wú)損測(cè)量半導(dǎo)體材料的厚/超厚層及透明層。

Filmetrics F3-sX半導(dǎo)體薄膜測(cè)量?jī)x可以測(cè)試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度，可測(cè)大厚度達(dá)3毫米。此類厚膜，相較于較薄膜層表面較粗糙且不均

Filmetrics F32薄膜厚度測(cè)量?jī)x 使用F32可以簡(jiǎn)單快速地在線測(cè)量膜厚。從對(duì)膜的頂部和底部反射光譜進(jìn)行分析可得到實(shí)時(shí)厚度信息。

Filmetrics F60薄膜厚度測(cè)量?jī)x 電動(dòng)R-Theta平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)，并在幾秒鐘內(nèi)提供厚度測(cè)量。 選擇數(shù)十種預(yù)定義的極坐標(biāo)，矩形或線性地圖模式中的一種，或創(chuàng)建自己的地圖模式，不限制測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量。 典型的49點(diǎn)圖形大約需要45秒。

Filmetrics F40薄膜厚度測(cè)量?jī)x 產(chǎn)品能以一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米

Filmetrics F54薄膜厚度測(cè)量?jī)x能以一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米